磁懸浮型TG-M系列

使用磁懸浮軸承可實現(xiàn)完全無油排氣、任何定向安裝以及更長的維護(hù)周期。產(chǎn)品陣容提供 340 L/s 至 2400 L/s 的型號。

磁懸浮式渦輪分子泵的截面

TG1300M

■任何方向

■緊湊的尺寸

■節(jié)能

■快速啟動和停止

■維修

■無振動

■型號無聯(lián)軸器

■自動校準(zhǔn)

■高吞吐量

■轉(zhuǎn)速控制

■串行通信

■NRTL SEMI-S2 CE安全標(biāo)準(zhǔn)

應(yīng)用

■ 半導(dǎo)體生產(chǎn)

■ 電子槍排氣、電離源排氣

■ FPD制造

■ 表面處理、表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、檢測設(shè)備

■ 燈具生產(chǎn)、光學(xué)元件生產(chǎn)

■ 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究
■ 熱處理

■ 研究與開發(fā)

• 規(guī)格

• 尺寸

• 性能曲線

• 控制器

Inlet flange

VG200

CF200

ISO-B200

Volume flow rate

N2 (L/s)

1300

N(with protective

screen) (L/s)

1230

H2 (L/s)

1200

Max. compression ratio

N2

1×108　

H2

1.5×104　

Base pressure

VG?ISO-B/CF (Pa)

<1×10-6

<1×10-7　

VG?ISO-B/CF (Torr)

<7.5×10-9

<7.5×10-10

Max. throughput※1

N2 (sccm)

3000

Startup time

(min)

4~5

Shutdown time

(min)

4~5

Max. backing pressure

(Pa / Torr)

500 / 3.8　

Recommended backing

vacuum pump

(L/min)

≧250

Position

Any orientation

Weight (kg)  VG, ISO-B/CF

34 / 42

Controller

TC010MA

Special specifications

*Contact our sales representative for 
more information.

-Chemical-use
-Thermal insulation TG-MI
-Ultra low vibration TG-ML
-Ultra high vacuum TG-MU
-Against radiation TG-MR

*1 ： 使用1000L/min的前級真空泵時。

[使用環(huán)境溫度]

確保您達(dá)到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風(fēng)冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水*溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。

[對應(yīng)氣體]

某些類型的要排出的氣體可能會損壞泵。
請聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。