電子廠無塵車間潔凈度檢測(cè) 內(nèi)容和方法--安衡檢測(cè)

目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)：1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法，在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí)，還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。

懸浮粒子和浮游菌、沉降菌數(shù)據(jù)檢測(cè)：進(jìn)入潔凈室內(nèi)檢測(cè)的人員需穿的潔凈服，經(jīng)過凈化措施后才能進(jìn)入，并且*多允許2人同時(shí)入內(nèi)檢測(cè)。檢測(cè)的時(shí)候動(dòng)作盡量規(guī)范，并且動(dòng)作要輕。

電子廠無塵車間潔凈度檢測(cè)  3、關(guān)于等速采樣：等速采樣是指在檢測(cè)過程中，粒子計(jì)數(shù)器的采樣管入口方向與被采樣單向氣流的方向一致，進(jìn)入采樣管入口的空氣平均流速與該位置單向氣流的平均速度。

千級(jí)無塵車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是0.5微米的*容許粒子濃度小于35200（pc/m3),5微米的*容許粒子濃度小于2930(pc/m3)；百級(jí)車間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下?？梢钥闯鰸崈舳鹊燃?jí)越高的車間，標(biāo)準(zhǔn)也更高，要求車間內(nèi)的塵埃粒子數(shù)量更少，這樣無塵車間才能更潔凈。

監(jiān)測(cè)方法有沉降菌法、定量空氣浮游菌采樣法和表面取樣法（如棉簽擦拭法和接觸碟法）等。動(dòng)態(tài)取樣應(yīng)當(dāng)避免對(duì)潔凈區(qū)造成不良影響。成品批記錄的審核應(yīng)當(dāng)包括環(huán)境監(jiān)測(cè)的結(jié)果。對(duì)表面和操作人員的監(jiān)測(cè)，應(yīng)當(dāng)在關(guān)鍵操作完成后進(jìn)行。在正常的生產(chǎn)操作監(jiān)測(cè)外，可在系統(tǒng)驗(yàn)證、清潔或消毒等操作完成后增加微生物監(jiān)測(cè)。

2、檢測(cè)點(diǎn)：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)，檢測(cè)凈化車間潔凈度時(shí)，檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)在距室內(nèi)地面水平面1.00m以內(nèi)；單向流式無塵凈化車間，測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于20個(gè)，測(cè)點(diǎn)間距為0.5 -2.0m。水平單向流量測(cè)點(diǎn)僅無布置；非單向流式無塵凈化車間按無塵凈化車間面積小于等于50m2布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)。

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