磁懸浮型TG-M系列

使用磁懸浮軸承可實現(xiàn)完全無油排氣、任何定向安裝以及更長的維護周期。產(chǎn)品陣容提供 340 L/s 至 2400 L/s 的型號。

磁懸浮式渦輪分子泵的截面

TG390M型

■任何方向

■緊湊的尺寸

■節(jié)能

■快速啟動和停止

■維修

■無振動

■型號無聯(lián)軸器

■自動校準

■高吞吐量

■轉(zhuǎn)速控制

■串行通信

■NRTL SEMI-S2 CE安全標準

應用

■ 半導體生產(chǎn)

■ 電子槍排氣、電離源排氣

■ FPD制造

■ 表面處理、表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、檢測設備

■ 燈具生產(chǎn)、光學元件生產(chǎn)

■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究
■ 熱處理

■ 研究與開發(fā)

Inlet flange

VG100

CF100

ISO-B100

Volume flow rate

N2 (L/s)

340

N(with protective

screen) (L/s)

320

H2 (L/s)

290

Max. compression ratio

N2

1×108　

H2

4.5×103　

Base pressure

VG?ISO-B/CF (Pa)

<1×10<1×10

VG?ISO-B/CF (Torr)

<7.5×10<7.5×10

Max. throughput※1

N2 (sccm)

2000

Startup time

(min)

2~3　

Shutdown time

(min)

4~5

Max. backing pressure

(Pa / Torr)

400 / 3　

Recommended backing

vacuum pump

(L/min)

≧160　

Position

Any orientation　

Weight (kg)  VG?ISO-B/CF

14 / 17　

Controller

TC010MA

Special specifications

*Contact our sales representative for 
more information.

-Chemical-use

-Thermal insulation

TG-MI

-Ultra low vibration

TG-ML

*1 ： 使用320L/min的前級真空泵時。

[使用環(huán)境溫度]

確保您達到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水*溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。

[對應氣體]

某些類型的要排出的氣體可能會損壞泵。
請聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。

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